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除目前主要应用的引进有望 Low-NA EUV 光刻机,SK 海力士本月早些时候还在存储器业界引进了首台量产型 High-NA EUV 光刻机,刻机即 ASML 的内部 TWINSCAN EXE:5200B,部署在韩国利川 M16 生产基地中。署数

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(凤凰网宁波 康岛、瓜间臣)

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